《GB/T 37385-2019 硅中氯離子含量的測定 離子色譜法》，本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)摘選內(nèi)容如下：

《GB/T 37385-2019 硅中氯離子含量的測定 離子色譜法》適用范圍：

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅中氯離子含量的離子色譜測定方法。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測定棒狀、塊狀、顆粒狀和片狀硅中氯離子含量的測定。測定范圍為1.0μg/g至硅中氯離子的最大固溶度。

硅中氯離子含量的測定依據(jù)的方法原理：

將樣品放置在高溫管式爐中進(jìn)行加熱，樣品熔化后其中的氯元素以氯離子的形式釋放出來，使用裝有水的鼓泡吸收瓶進(jìn)行吸收后，用離子色譜儀測定吸收液中的氯離子含量。

關(guān)鍵儀器設(shè)備舉例：

離子色譜儀：配備陰離子色譜柱。

電子天平：分度值為0.1 mg。

移液管：2 mL、10 mL、20 mL。

高溫管式爐：最高工作溫度不低于1500℃。

干擾因素分析：

高溫管式爐中樣品管、樣品容器的材質(zhì)純度會影響測試結(jié)果，如果純度不夠，高溫下樣品管、樣品容器中的雜質(zhì)會揮發(fā)出來。

高溫管式爐中樣品管、樣品容器應(yīng)保持潔凈，使用前應(yīng)進(jìn)行充分煅燒，確保樣品空白穩(wěn)定后再進(jìn)行樣品的分析。

高溫管式爐需設(shè)置冷卻系統(tǒng)，保證樣品管管線密封良好。

樣品的煅燒過程需在氬氣氛圍下進(jìn)行，樣品冷卻至室溫后才能停止氬氣，確保樣品不被氧化。

氬氣的純度和流速會對測試結(jié)果產(chǎn)生一定影響。氬氣的純度不夠可能導(dǎo)致樣品被氧化，氬氣流速過小樣品容器中的氯離子不能被充分帶走，氬氣流速過大可能引起氯離子不能被充分吸收。