硝酸是一種有著強(qiáng)氧化性和高腐蝕性的強(qiáng)酸，普遍使用于半導(dǎo)體行業(yè)，在半導(dǎo)體加工制造業(yè)中常被用做刻蝕劑用以刻蝕晶圓，這其中低含量的陰離子危害半導(dǎo)體元器件的產(chǎn)品品質(zhì)。普仁儀器研發(fā)的離子色譜儀能夠成功用于濃硝酸中磷酸根和硫酸的測(cè)定。

在測(cè)定硝酸樣品中低含量離子時(shí)，由于其酸性大，不可以可以直接進(jìn)柱分析，若稀釋后在進(jìn)樣，對(duì)于低含量離子結(jié)果有影響，因此 必須先調(diào)節(jié)其PH值，使其能可以直接進(jìn)樣分析。對(duì)于調(diào)節(jié)溶液PH值的方法，通常是加入適當(dāng)?shù)膲A，但在這里又要面臨著2個(gè)難題。若加入堿溶液，則會(huì)對(duì)原樣品進(jìn)行稀釋;若加入堿固體，這個(gè)固體的量又不太好控制。普仁儀器為了更好地解決這個(gè)問(wèn)題，自主研發(fā)了一套前處理裝置，合理有效避免了以上的2個(gè)難題。該處理簡(jiǎn)單易操作。

儀器：青島普仁儀器有限公司 離子色譜儀

淋洗液：碳酸鹽體系

流速：0.7mL/min

柱子：PRA-4陰離子色譜柱

柱溫：36.5

進(jìn)樣體積：10uL

圖一： 某客戶硝酸E5的樣品圖

圖二： 某客戶硝酸F 5的樣品圖